固體介質的電擊穿理論是在氣體放電的碰撞電離理論基礎上建立的。在20世紀30年代，希伯爾(Hppel)和弗羅利赫(Frolich)等人，在固體物理學基礎上用量子力學為工具，逐步發(fā)展建立了固體介質電擊穿的碰撞電離理論，其主要內容為：在強電場下固體導帶中可能因冷發(fā)射或熱發(fā)射而存在一些電子，這些電子一面在外電場作用下被加速獲得動能，一面與晶格振動相互作用而加劇晶格振動，把電場的能量傳遞給晶格，當這兩方面在一定溫度和場強下平衡時，固體介質有穩(wěn)定的電導，但當電子從電場中得到的能量大于損失給晶格振動的能量時，電子的動能就越來越大，直至電子與晶格的相互作用增強到能電離產生新電子，自由電子數(shù)迅速增加，電導不斷增大，導致電擊穿開始發(fā)生。
 

　　按擊穿發(fā)生的判定條件不同，電擊穿理論可分為：“本征電擊穿理論”(以碰撞電離開始作為擊穿判據(jù))和“雪崩電擊穿理論”(以碰撞電離產生的電子數(shù)倍增到一定數(shù)值而足以破壞介質絕緣狀態(tài)作為擊穿判據(jù))。
 

　　本征電擊穿理論認為：電子從電場中獲得能量的速率與電場強度E和電子能量E0有關，可表示為A(E，E0)；而電子損失給晶格能量的速率與晶格溫度T和電子能量E0有關，可表示為B(T，E0)，電子獲得和失去能量的速率相等時達到平衡狀態(tài)，此時
 

　　A(E , E0)=B(T , Eo)       (4.2-77)
 

　　當電場上升到使平衡破壞時，碰撞電離過程便立即發(fā)生，所以使式(4.2-77)成立的大場強就是碰撞電離開始發(fā)生的起始場強，把這一場強作為介質擊穿場強的理論即為本征電擊穿理論。
 

　　本征電擊穿和“雪崩”電擊穿一般很難區(qū)分，但理論上，它們的關系是明顯的：本征電擊穿理論中增加導電電子是繼穩(wěn)態(tài)破壞后突然發(fā)生的，而“雪崩”電擊穿是考慮到高場強時，導電電子倍增過程逐漸達到難以忍受的程度，終介質晶格破壞。